Dokument:
Erzeugung und Charakterisierung von
SiO2-Nanostrukturen auf Si
| Titel: | Erzeugung und Charakterisierung von SiO2-Nanostrukturen auf Si | |||||||
| URL für Lesezeichen: | https://docserv.uni-duesseldorf.de/servlets/DocumentServlet?id=2108 | |||||||
| URN (NBN): | urn:nbn:de:hbz:061-20011119-000108-6 | |||||||
| Kollektion: | Dissertationen | |||||||
| Sprache: | Deutsch | |||||||
| Dokumententyp: | Wissenschaftliche Abschlussarbeiten » Dissertation | |||||||
| Medientyp: | Text | |||||||
| Autor: | Bloeß, Harald [Autor] | |||||||
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| Beitragende: | Prof. Dr. Schultze, Joachim Walter [Gutachter] Prof. Dr. Staikov, Georgi [Gutachter] | |||||||
| Stichwörter: | Silizium, Siliziumdioxid, Nanostrukturierung, Elektrochemie,Kinetik, AFM, Oberflächenanalytik | |||||||
| Dewey Dezimal-Klassifikation: | 500 Naturwissenschaften und Mathematik » 540 Chemie | |||||||
| Beschreibung: | Die elektrochemische Herstellung isolierender Nanostrukturen wurde am Beispiel des Systems Si/SiO2/H2O untersucht. Sie kann in der Nanozelle, der kleinsten elektrochemischen Zweielektrodenzelle, realisiert werden, aber nicht unter semiinfiniten Bedingungen. Die erzeugten, im Profil gaußähnlichen Nanostrukturen hatten eine minimale Halbwertsbreite von 10 nm und eine maximale Höhe von 8 nm, die sich durch die maximale Oxidationsspannung von 10 V ergab. Als wichtige Voraussetzung der Nanostrukturierung in multiplen Verfahrensschritten wurde die Ortskorrelation von Mikro- und Nanobereich hergestellt. Die reproduzierbare Messung der Stromtransienten im Nanometerbereich zur Klärung der Kinetik gelingt mit oszillierender AFM-Spitze als Gegenelektrode. Der Schwerpunkt bei der Nanostrukturierung von Si lag bei der Klärung der Kinetik und des Wasserhaushalts der lokalen Oxidation unter Berücksichtigung der Besonderheiten der Nanozelle. Als Ergebnis ergibt sich eine quantitative Beschreibung der lokalen Oxidation in der Nanozelle. | |||||||
| Lizenz: |  Urheberrechtsschutz | |||||||
| Fachbereich / Einrichtung: | Mathematisch- Naturwissenschaftliche Fakultät » WE Chemie | |||||||
| Dokument erstellt am: | 19.11.2001 | |||||||
| Dateien geändert am: | 12.02.2007 | |||||||
| Promotionsantrag am: | 19.11.2001 | |||||||
| Datum der Promotion: | 19.11.2001 |
